تسخين مفاعل mocvd بالتحريض
التسخين التعريفي لمفاعلات ترسيب البخار الكيميائي المعدني (MOCVD) عبارة عن تقنية تهدف إلى تحسين كفاءة التسخين وتقليل الاقتران المغناطيسي الضار بمدخل الغاز. غالبًا ما تحتوي مفاعلات MOCVD التقليدية ذات التسخين التعريفي على ملف تحريضي يقع خارج الحجرة، مما قد يؤدي إلى تسخين أقل كفاءة وتداخل مغناطيسي محتمل مع نظام توصيل الغاز. مؤخرًا … المزيد